SEMulator3D 建模引擎使用独特的物理驱动 3D 建模技术011433，可以对各种单元处理步骤进行建模。每个工艺步骤只需要几个易于理解和校准的几何和物理输入参数。就像在实际的晶圆厂中一样，上游单元工艺参数（如沉积保形性、蚀刻各向异性、选择性等）相互作用，并以复杂的方式设计数据，以影响最终的器件结构。为了正确预测完整流程流的最终结果，必须准确建模每个流程步骤。SEMulator3D 高级过程建模为标准库添加了额外的过程步骤，例如多色差和选择性外延。这些步骤提供了更准确的等离子体（干）蚀刻、选择性外延生长等建模。SEMulator3D 自动化是一个电子表格驱动的自动化引擎，可实现大规模并行的过程变异研究。通过自动构建一系列具有特定工艺参数变化的 SEMulator3D 模型，SEMulator3D 自动化能够对工艺公差、良率或跨晶圆均匀性进行虚拟研究。SEMulator3D 分析模块可直接在 SEMulator3D 中自动执行过程变异的统计分析。新的 Analytics 用户界面可指导用户使用各种技术（包括蒙特卡罗过程变异）设计、执行和分析大型统计实验。自动多变量回归用于识别重要参数，并根据其对过程变异的影响对它们进行排名。器件分析功能作为电气分析模块的一部分，可以提取晶体管的电气特性，并探索晶体管过程对器件性能的可变性，所有这些都直接在SEMulator3D中进行。电气分析模块增加了强大的电阻和电容提取功能，以加深对工艺和设计灵敏度的理解。电气分析模块可以直接在SEMulator3D中计算导体网的电阻和网的电容，为3D建模和电功能验证提供单一平台。SEMulator3D 查看器显示虚拟设备模型在流程中每个步骤的 3D 渲染。分步可视化有助于了解过程故障模式和其他复杂的过程现象。横截面和尺寸测量可以在3D模型的任何地方进行。SEMulator3D Viewer具有许多高级功能，包括流程步骤的自动动画和自动导出到Microsoft PowerPoint。
半导体领域专业软件，可用于工艺仿真、涨落分析等，结构渲染优于spx,提供全网最稳定windows版本，注意该软件无Linux版。
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Coventor SEMulator3D 9.3 x64 授权版
